BROOKS流量計通過設(shè)定點繼電器輸出準確且可重復(fù)的大氣壓差指示。允許連續(xù)監(jiān)測從大氣壓到1x10-4Torr的真空系統(tǒng)性能。提供對壓力測量的高速訪問以及與其他傳感器和控件的輕松集成。
 

　　BROOKS流量計的檢修步驟：
 

　　(1)仔細檢查流量計傳動軸與傳動軸銅套的結(jié)合面有無滲漏現(xiàn)象。銅套內(nèi)的O型密封圈損壞會造成外泄漏，影響流量計的準確度。若有滲漏現(xiàn)象，就應(yīng)該更換銅套內(nèi)的O型密封圈。方法是卸下銅套，取出傳動軸與接頭之間的連接銷，取下接頭，將傳動軸從銅套內(nèi)取出，更換O型密封圈后再按相反順序復(fù)裝。
 

　　(2)若無外漏現(xiàn)象，下一步則為調(diào)節(jié)調(diào)量活塞。調(diào)節(jié)方法為：卸下流量計端蓋上的蓋形螺母，擰動調(diào)量活塞的行程。流量計內(nèi)連接上下連桿的連接塊孔徑磨大，使活塞行程增加，造成準確度降低，也可用調(diào)節(jié)調(diào)量活塞行程的方法解決。
 

　　(3)如果還沒有解決問題，就可以判斷為是流量計的內(nèi)部故障了。O型密封圈損壞或者膠木輪磨損變形都有可能影響流量計的準確度。解決方法為：打開流量計的四個端蓋，把流量計頂部的銅套和傳動軸、傳動木頭一起卸下，把四個活塞也卸下，取出上下連桿及膠木輪。
 

　　如果是O型密封圈及膠木輪損壞則更換；如果O型密封圈及膠木輪沒有損壞則流量計就不能再使用了，需要返廠修理，因為很有可能是缸套及活塞磨損過大造成的內(nèi)泄露增加。