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概要基于多年來技術產(chǎn)品的市場發(fā)展經(jīng)驗，我們提供了一系列滿足客戶需求的質量流量計產(chǎn)品

概要高穩(wěn)定性的質量流量計－氣體流量控制不受上流和下流端壓力變化的影響

概要SEC-Z700系列和CRITERIOND200系列即使在上流和下流壓力影響的情況下也可以提供穩(wěn)定的流量控制

概要SEC-8000F/D系列,可以在高溫環(huán)境下工作,實現(xiàn)超潔凈狀況下百萬分之一級別的超小流量的分析與控制，能夠滿足復雜多變的半導體制程需求

概要作為提高生產(chǎn)的必要因素、制造設備的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到關注