富士金氣體質(zhì)量流量計(jì)T1000系列
具有高精度、快速響應(yīng)、價(jià)格低廉、零漂低等特點(diǎn)。不僅滿足半導(dǎo)體、微電子、玻璃鍍膜、陽(yáng)能電池等行業(yè)，還可以滿足鋼廠、電廠、石化等行業(yè)的要求
規(guī)格參數(shù)
1. 多氣體多量程（MG/MR）功能
2. 可在客戶端簡(jiǎn)單打盾進(jìn)行氣體種類(lèi)/流量變更，從10sccm至50slm
3. 高精度：±1%S.P.（100-25%），±0.25%F.S.(25%-2%)(精度保證范圍15-35℃)
4. 再現(xiàn)性：±0.2% F.S
5. 強(qiáng)耐腐蝕性
6. 輸入輸出信號(hào):模擬（0-5VDC）/RS-485、Device Net
7. 全量程范圍、響應(yīng)速度快，≤1sec
8. 密封材質(zhì)：金屬密封/橡膠密封
9. 閥門(mén)種類(lèi)：NO常開(kāi)NC常閉型
10. ***大動(dòng)作壓力：400kPaG(Ar:500kPaG)
11. 耐壓：1MPa
12. 使用溫度：5-50℃
13. 金屬密封外部泄漏率：1 x 10 -11 Pa&﹟8226;m3/sec He
14. 橡膠密封外部泄漏率：1 x 10 -7 Pa&﹟8226;m3/sec He
15. 材質(zhì)：SS316L不銹鋼
16. 接口方式：1/4vcr金屬面密封連接，卡套連接