MKS651C自調(diào)節(jié)/數(shù)字PID壓力控制器
651型自調(diào)節(jié)/數(shù)字PID閥門控制器可以快速、**的驅(qū)動(dòng)MKS的653或者253型排氣節(jié)流閥。它的自調(diào)節(jié)算法使它可以比普通的控制器更快地達(dá)到系統(tǒng)的設(shè)定點(diǎn)，并確保在沒有操作工參與的情況下保證工藝菜單的可重復(fù)性。通過了解時(shí)間常數(shù)、閥門和管道的傳輸函數(shù)、閥門增益和其它重要參數(shù)，651的自調(diào)節(jié)功能可在閥門的設(shè)定范圍內(nèi)決定*佳的控制參數(shù)。

MKS 651C訂購(gòu)資料：

例如：型號(hào)651CD2S1N

通訊界面 采購(gòu)序列號(hào)

RS232 2

閥門驅(qū)動(dòng)器

步進(jìn)電機(jī) S

電源 ：0.5Amp   1.5Amp 2

選配件  無(wú) N

備用電池 B

651C的配套電纜線：

輸入電纜：

CB112-2-10 用于將651連接到MKS 223,225,622,623,722（接線端子）

CB259-5-10 用于將651連接到624,625,626,627,628,722(15針接口）

CB120-6-10 用于將651連接到120

CB112-10-10 用于將651連接到220

CB112-14-10 用于將651連接到121,221

閥門電纜線：

CB652-1-10 用于將651連接到653B

CB651-30-10 用于將651連接到253B