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概要
MARK3系列是在未改變質量流量控制器所必須的品質特性的條件下*實現成本降低的量產產品。材質和泄漏規格則與一般型號產品的SEC-400、SEC-500系列*一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據重點關注于重復性以及限定氣體的種類、流量進行大量生產、實現了大幅度的成本降低。于定流量、長時間的穩定控制重復控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。
特征
- 具有廣泛的用途
在一般產業中也有大量的銷售記錄
- 追求成本優勢、實現成本降低
規格
| 型號 | SEC- (質量流量控制器) | E40/E40MK3 | E50/E50MK3 |
|---|---|---|---|
| SEF- (質量流量計) | E40 | E50 | |
| 適用氣體種類*1 | 非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He) | ||
| 氣體接觸部材質 | SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 | ||
| 閥門型號 | 非通電時 關閉 | ||
| 標準流量量程 (N2相應F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
| 流量控制范圍 | 2?99% F.S. | ||
| 流量測量范圍 | 0?99% F.S. | ||
| 響應速度 | 1秒以內(T98) | ||
| 流量精度 | ±1% F.S. | ||
| 直線性 | ±0.5% F.S. | ||
| 反復性 | ±0.2% F.S. | ||
| 工作差壓值值 | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | ||
| 使用壓力 | 300kPa(G)以下 | ||
| 耐 壓 | 1MPa(G)以下 | ||
| 外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | ||
| 使用環境溫度 | 5?50℃(精度的確保：15?35℃) | ||
| 流量設定信號 | 0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?99% F.S. | ||
| 流量輸出信號 | 0?5VDC(最小負荷電阻2kΩ) | ||
| 驅動電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
| 標準接頭*2 | 1/4SWL 類型 | ||
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