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ETCH主要產(chǎn)品涉及金屬加工件chamber Linear/heater/slit door

簡要描述:ETCH主要產(chǎn)品涉及金屬加工件chamberLinear/heater/slitdoor);密封件;以及ESC(包括ESC翻新延長了使用壽命加熱元件的發(fā)熱越有效,需要對它們進行的加熱就越少

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2025-09-17
  • 訪  問  量:1024
詳情介紹



ETCH主要產(chǎn)品涉及金屬加工件chamber Linear/heater/slit door);密封件;以及ESC(包括ESC 翻 新

延長了使用壽命




加熱元件的發(fā)熱越有效,需要對它們進行的加熱就越少。Plansee 研發(fā)了一種能夠熱輸出的涂層工藝。



鎢基層具有高孔隙率的

  • 鉬(熔點:2620°C)和鎢(熔點:3420°C)均是難熔金屬,高熔點使它們非常適合用于諸如 MOCVD 和 MBE 之類的高溫工藝。
  • 耐腐蝕:
    鉬和鎢在各種環(huán)境中都具有耐腐蝕性,甚至在溫度下也是如此:
氨氣
  • 在操作過程中,反應室部件中的雜質(zhì)也可能污染半導體。要保證半導體的質(zhì)量和 LED 或晶體管的效率,我們的材料必須無雜質(zhì)。我們保證材料純度高于 99.97%。

  • 蒸氣壓低:




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