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認識島津分子泵,從認識它的工作原理開始

發布時間: 2023-01-13  點擊次數: 612次
  島津分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。采用氣體靜承和動密封的復合分子泵,可以做到無油,且不用前級泵直接向大氣中排氣。
 
  島津分子泵的工作原理:
 
  分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同,利用了動量傳遞原理,使分子定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。
 
  分子泵在電機的帶動下高速旋轉,采用變頻電源驅動電機,目的是得到較高的轉速。在分子流區域內,氣體分子與高速轉到的葉片表面碰撞,動量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面的運動方向上,產生定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。
 
  通常把用高速運動的剛體表面攜帶氣體分子,并使其按一定方向運動的現象稱為分子牽引現象,利用這一現象制成的真空泵稱為牽引分子泵(蓋德泵)。牽引分子泵的優點是啟動時間短,在分子流態下有很高的壓縮比,能抽除各種氣體和蒸氣,特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小,密封間隙太小,工作可靠性較差,易出機械故降,而且制造困難,實際上很少應用。后來對牽引分子泵進行了改進,出現了渦輪分子泵。
 
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