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LAM796-055344-005水蒸汽brooks流量計

簡要描述:LAM796-055344-005水蒸汽輸送模塊brooksinstrument VDM300

Coastal Instruments 成立于1980年,是國內專業的流量計服務商。致力于進口質量流量計、壓力傳感器等壓力測量器件的校準、維修及銷售服務。其技術*、高可靠性及誠信使其成為行業的,是專業的MFC技術服務商。

深圳

  • 產品型號:VDM300
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-06-04
  • 訪  問  量:2269
詳情介紹

LAM796-055344-005

特點

  • 流量范圍:3 slpm (去離子水蒸汽)

  • 具有超高流量精度的直接水蒸汽測量

  • 能直接連接到廠房去離子水供應系統

  • 在較低溫度下可操作(非過熱狀態)

  • 沖刷和排水的優化設計

  • EtherCAT數字通訊

  • Brooks Expert Support Tool (BEST)圖形用戶界面

優勢

  • 采用了成熟可靠的熱式質量流量測量和控制技術

  • 適用于各種FAB去離子水供水的壓力

  • 接液件耐腐蝕性能增強

  • 確保更清潔的操作

  • 可匹配各種設備的模擬或數字通訊接口

  • 直接用戶界面可增強數據收集或故障排查

應用

  • 硅材料半導體金屬刻蝕后段工藝

  • 硅材料半導體金屬剝離工藝

  • 在負大氣壓的環境中超高純加濕

LAM797-800733-100半導體機臺配件MFC649B-32597
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SEC-Z11DWM [ 堀場 STEC ]
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質量流量控制器 SEC-N112MGM N2 300SCCM B-14W3 9P 3
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質量流量控制器 SEC-Z719JX SICL4 100SCCM BLK-C 9P
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GP-Z104-C [ 堀場 STEC ]
真空計 GP-Z104 0.1TORR

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深圳市天鉉真空技術有限公司

Coastal Instruments 成立于1980年,是國內專業的流量計服務商。致力于進口質量流量計、壓力傳感器等壓力測量器件的校準、維修及銷售服務。其技術*、高可靠性及誠信使其成為行業的,是專業的MFC技術服務商。

深圳市天鉉真空技術有限公司 專門經營進口氣體質量流量計銷售,全套校準,一年質保期。

本公司專業銷售質量流量計近40年,具有豐富的銷售和售后服務經驗,我們有專業的服務團隊和專業工程師對產品進行跟蹤服務。
具體產品參數,價格請詢價

本公司主要經營的品牌有:

HORIBA

MKS

BROOKS

UNIT

AERA

MKS

MYKROLIS

MILLIPORE

SAM

STEC

BRONKHORST

美國BROOKS布魯克斯5850E進口氣體流量計

BROOKS 5850E  5851E  SLA5850S SLA5851S SLA5853S 5850S 5851S 5853S GF120CXXC GF125CXXC GF100CXXC


HORIBA IV-2410AV-03/3030-10059噴射閥

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